젬백스, TSMC 양산설비 필터 수주
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젬백스, TSMC 양산설비 필터 수주
  • 이정원 기자
  • 승인 2021.09.08 09:21
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지난달 시제품 평가 진행 이후 공급 시작

[프레스나인] 젬백스가 세계 파운드리(반도체 위탁생산) 시장점유율 최대 업체인 TSMC의 요구로 ArF(불화아르곤) spinner 용 케미컬 에어 필터(CA Filter)를 수주하였다고 밝혔다.

젬백스는 지난달 TSMC가 신규로 설치한 일본 TEL(Tokyo Electronic Ltd.) 사의 최신식 EUV(Extreme Ultra Violet) spinner 용 장비에 적용될 필터를 테스트하기 위하여 시제품을 단독으로 납품했다고 밝힌 바 있다. 이번 공급은 진행중인 시제품 테스트와는 별개로 타이난(Tainan)에 소재한 F14 양산(Mass production)형 Fab에서 가동 중인 기존 ArF 용 장비에 유상으로 공급한다는 것에 의미가 있다.

TSMC는 신주(Hsinchu)의 실험센터 F12를 포함하여, 타이난(Tainan)에 F14와 F18 타이중(Taichung)에 F15 등 총 4의 Fab에서 300MM(12인치) 웨이퍼 Fab을 가동하고 있으며, 젬백스는 시제품을 포함하여 2개의 Fab에 납품하게 됐다. 현재 신주(Hsinchu) 실험센터에서 진행 중인 테스트가 성공적으로 마무리되면 타이난(Tainan)에 소재한 또다른 양산형 Fab인 F18로 공급이 확대되어 총 4기의 300MM 웨이퍼 Fab 중 3개의 Fab에 납품을 하게 된다.

젬백스 관계자는 “이번 납품을 시작으로 TSMC의 모든 300MM 웨이퍼 Fab의 모든 장비용 필터로영역을 확대하고 장기적으로는 시설(Facility)용 필터까지 납품하는 것을 목표로 TSMC와의 신뢰관계를 형성하고자 한다”고 밝혔다.

 


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