최근 불거진 한일 반도체 무역 마찰로 인해 국내 반도체 산업에 큰 타격이 우려되는 가운데, 국내기업 에이치앤세온이 일본에서 전량 수입돼 온 반도체 제조용 고속히터를 개발하며 주목받고 있다.

에이치앤세온이 개발한 반도체 제조용 고속 히터는 사람의 심장 박동처럼 빠르게 요동친다고 하여 ‘펄스 히터(PULSE HEATER)’ 로 불린다. 해당 히터는 초당 200℃이상의 빠른 승온 속도로 반도체 칩을 열압착 본딩(Thermo-Compression Bonding) 하는 공정에 사용된다.


발열 특성을 갖는 기능성 세라믹으로 개발된 펄스 히터는 국내 반도체 제조 업체 및 해외 반도체 제조 업체에 필드 테스트를 진행했으며, 그 결과 일본 히터를 대체할 수준의 평가를 받고 있다.

다만 무역 마찰로 인해 기존 수입에 의존하던 자재들의 대체품을 개발하는 것이 국가적 과제로 떠오르고 있음에도, 반도체 제조 공정에 사용되는 부품은 높은 신뢰성을 보증 받아야 하는 산업 특성상 기존 부품을 대체해 시장 진입하는 것이 쉽지 않은 상황이다.

에이치앤세온의 김학범 연구소장은 “펄스 히터의 핵심 기술은 대형화에 따른 승온 속도 및 냉각 속도 단축에 있으며, 이를 위해 고기능성 세라믹 소재 개발과 모듈화 기술이 필수적”이라며 “반도체 제조용 고속히터처럼 일본에서 전량 수입해 오던 핵심 부품은 국가에서 이를 전문적으로 테스트하여 평가할 수 있는 기관과 해당 제품을 홍보할 수 있는 시스템이 필요하다”고 밝혔다. 

온라인뉴스팀 (online@press9.kr)